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日本进口高纯度溅射靶材上海锡霖国际贸易有限公司

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    各种溅射靶材的产品例





金属靶材













高纯度金属

Al, Co, Cu, Fe, Mg, Mn, Sn



高熔点金属合金

Cr,Mo,Nb,Ta,Ti,V,W系列的合金



非磁性合金

Al, Bi, Cu, Mg, Sn, Zn系列的合金/ Bi2Te3, Mg2Si



磁性合金

Co, Fe, Ni系列的合金/ Co-Fe-B, Co-Pt, Fe-Pt



赫斯勒合金

Co, Fe, Ni基赫斯勒合金



Mn系列的合金

Mn-Al, Mn-Bi, Mn-Ga, Mn-Ir, Mn-Si



贵金属合金

Au,Ag,Pt,Pd系列的合金





无机化合物靶材













氧化物

Al2O3,MgO,SiO2,TiO2,ZnO,La2O3

ITO,PZT,STO,LiCoO2,Li4Ti5O12,Li3PO4



碳化物

SiC,B4C,WC



其他化合物

氮化物,氟化物,磷化物,硫化物,硒化物





复合靶材













金属相

Co-Cr-Pt, Fe, Fe-Ni, Fe-Pt等各种纯金属・合金



非金属相

Al2O3, MgO, SiO2等各种氧化物・氮化物





标准尺寸一览









单位 [mm]







圆球型



直径

φ50.8、φ76.2、φ101.6、φ127、φ152.4、φ203.2、 φ254、φ304.8、φ355.6、φ406.4、φ508、φ533.4



矩形



平面尺寸

127×304.8、127×381、127×508、127×558.8、152.4×508



厚度

t3、t5、t6.3,电 话:021-62597239
日本进口高纯度溅射靶材上海锡霖国际贸易有限公司

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